ISO 13694 目前有效版本為 ISO 13694:2018(第 3 版),2023 年再次確認繼續有效 。
標準全稱:
Optics and photonics — Lasers and laser-related equipment — Test methods for laser beam power (energy)
density distribution
(光學與光子學——激光及激光相關設備——激光束功率(能量)密度分布的試驗方法)
適用范圍
適用于連續波(CW)和脈沖激光束;
規定在某一給定橫截面上測量激光功率(能量)密度分布的方法;
可用于激光器性能測試、光學元器件檢測以及激光加工、醫療、通信等應用領域 。
主要技術內容
測量原理
在垂直于傳播方向的平面內,獲取功率密度(CW)或能量密度(脈沖)隨橫向坐標的分布。可采用五種常用手段:
一維/二維相機陣列、可變孔徑、針孔、狹縫和刀口法 。
關鍵定義與參數
功率(能量)密度分布、最大值、剪切級(clip-level)密度;
剪切級功率(能量)、分數功率(能量)、重心、束寬、橢圓度、均勻性、平臺均勻性、邊緣陡度等 。
測量與評價流程
坐標系與測試布置(探測器、衰減器、環境控制);
探測器空間與功率(能量)校準;
背景噪聲扣除(背景圖或平均背景減法);
選取積分限、優化背景修正;
計算上述空間特性參數并編制測試報告 。
與其他標準的關系
引用 ISO 11145(術語符號)、ISO 11146(束寬與 M2)、ISO 11554(功率能量時域特性)及 IEC 61040(探測器規范)。
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